杏彩平台“4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安装：10亿一台

发布日期：2023/12/20 来源: 本站 阅读量（33）

　　杏彩平台“4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安装：10亿一台Intel前几年就在爱尔兰的Fab 34晶圆厂投资70亿美元升级，主要是为Intel 4工艺准备的，原先该工艺是7nm，去年改名之后就等效于其他厂商的4nm EUV工艺了，也是Intel首个使用EUV光刻机的工艺。

　　今年1月底，Intel就在Fab 34晶圆厂安装了光刻胶显影设备(lithography resist track)，不过它还不是真正的EUV光刻机，杏彩体育注册现在才开始安装EUV光刻机，要为下半年的量产做准备了。

　　根据Intel公布的视频，目前约有100多名ASML的工程师进驻工厂协助安装，同时Intel也从美国俄勒冈州的工厂中派来了工程师培训爱尔兰当地的员工，教导他们使用EUV光刻机。

　　Intel没有公布这款光刻机的具体型号，不过ASML最新的EUV光刻机超级贵，杏彩体育网站注册均价10亿元左右，先进工艺晶圆厂的投资都是几十亿美元甚至上百亿美元级别的。